Elektronenmikroskopie

Bei optischen Mikroskopen (Lichtmikroskop) hängt die erreichbare Auflösung direkt von der Wellenlänge des Lichts ab. Da schnelle Elektronen eine sehr viel kleinere Wellenlänge als sichtbares Licht haben, kann mit einem Elektronenmikroskop eine deutlich höhere laterale Auflösung erreicht werden.

Ähnlich dem Auflicht- oder Durchlichtmodus in der Lichtmikroskopie unterscheidet man Rasterelektronenmikroskope (REM) zur Untersuchung von Probenoberflächen und Transmissionselektronenmikroskope (TEM) zur Untersuchung des „Probeninneren“ (z. B. Grenzflächen, Ausscheidungen, etc).

Durch die Wechselwirkung des Primärelektronenstrahls mit der Probe entstehen unterschiedliche Signale (Sekundärelektronen (SE), Rückstreuelektronen (RE), Röntgenstrahlung), die mit speziellen Detektoren aufgefangen werden können. Diese ermöglichen es umfangreiche Informationen über die untersuchte Probe zu gewinnen (s. Elektronenstrahlmikroanalyse).

Weiterführende Stichworte:
Energiedispersive Röntgenspektrometrie
Environmental-Rasterelektronemikroskopie
Rasterkraftmikroskopie
Rastertunnelmikroskop
Wellenlängendispersive Röntgenspektrometrie

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