Environmental-Rasterelektronemikroskopie

Stellt eine spezielle Variante der Rasterelektronenmikroskopie dar. Eine wesentliche Erweiterung des Einsatzspektrums zu einem konventionellen REM ist durch die Möglichkeit bei höherem Druck in der Probenkammer zu arbeiten gegeben. Dafür werden ein wesentlich komplexeres Vakuumsystem und spezielle Detektoren für die unterschiedlichen Druckbereiche benötigt.

Ein ESEM kann in Kombination mit einem Peltier-Kühltisch zur Abbildung von feuchten und nassen Probenmaterialien herangezogen werden. Quellversuche von Fasern und Papieren, das Benetzungsverhalten von Oberflächen, die Untersuchung von gegenüber Austrocknung im Hochvakuum empfindlichen und sonst nur mittels Kryo-Techniken mikroskopierbaren biologischen Materialien und Polymer-Membranen, werden unter Wasserdampfatmosphäre möglich. Weiters können Heating Stages bis ca. 1350 °C eingesetzt werden. Das Schmelzen von Metallen und Legierungen, Sintern von keramischen Komponenten, HALT-Tests an elektrischen Bauteilen unter erhöhten Temperaturen können ebenso untersucht werden, wie das Korrosionsverhalten von Oberflächen. Verfügt das ESEM über eine große Probenkammer, so kann diese auch mit einer Zug-/Druckbühne oder einem in-situ-Ultramikrotom zur 3D-Rekonstruktion von Strukturen weicher Materialien (auch weiche Metalle) bestückt werden.

Weiterführende Stichworte:
Elektronenmikroskop
Elektronenmikroskopie
Transmissionselektronenmikroskop

Literatur:

Schröttner H. : Die Elektronenmikroskopie in der Materialforschung / Electron Microscopy in Materials Research.
Rattenberger, J.; Wagner, J.; Schröttner, H.; Mitsche, S.; Zankel, A.:
A Method to Measure the Total Scattering Cross Section and Effective Beam Gas Path Length in a Low-Vacuum SEM.
Schröttner, H.; Rattenberger, J.; Wagner, J.: Experimental vs. calculated values of the total scattering cross section and the BGPL of different image gases in an ESEM


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