Transmissionselektronenmikroskop

Die Strahlerzeugung erfolgt ident wie in einem Rasterelektronenmikroskop (REM). Die aus der Kathode emittierten Elektronen werden zur Anode hin beschleunigt. Die Beschleunigungsspannungen in Transmissionselektronenmikroskopen liegen im Regelfall im Bereich von 80 kV bis 300 kV.

Die Kondensorlinsen sind für die Beleuchtung der Probe zuständig. Die Objektivlinse erzeugt hinter der elektronentransparenten Probe ein vergrößertes Bild des Objektes. Dieses wird in nachfolgenden Linsen (Beugungslinse, Zwischenlinse, Projektivlinse) noch weiter vergrößert und auf einem Leuchtschirm oder via CCD-Kamera auf einem Monitor dargestellt. Das Auflösungsvermögen wird durch den Strahldurchmesser begrenzt. Ein TEM kann mit einem Rasterzusatz versehen werden, der den Elektronenstrahl dann zeilenförmig über die Probe führt (STEM Scanning Transmission Electron Microscope).

Moderne TEM bieten neben standardmäßigen Hellfeld- und Dunkelfeld-Abbildungen durch weitere Detektorsysteme eine Vielzahl von Möglichkeiten zur Gewinnung von Information. EDX- und EELS-Detektoren dienen der chemischen Analyse im Nanometerbereich. Elektronenenergieverlustspektroskopie (EELS) gibt Information über die chemische Zusammensetzung und Bindung des untersuchten Probenbereiches und ist auch die Basis zur Aufnahme von energiegefilterten Elementverteilungsbildern (EFTEM). High Angle Annular Darkfield (HAADF) -Detektoren und Elektronenbeugung im Selected Area Electron Diffraction (SAED) oder Convergent Electron Diffraction (CBED) - Modus ermöglichen die Gewinnung von kristallografischer Information, Lorentz-Linsen-Systeme erlauben die Abbildung von magnetischen Domänen in Werkstoffen.

Weiterführende Stichworte:
Elektronenmikroskop
Elektronenmikroskop
Elektronenstrahlmikroanalyse

Zurück zur Übersicht