Wellenlängendispersive Röntgenspektrometrie

Dabei werden die einfallenden Röntgenquanten an einem für die zu messende Energie/Wellenlänge optimalen Kristall entsprechen dem Braggschen Gesetz (n·λ = 2·d·sinθ) gebeugt. Die Röntgenquanten werden mit einem Proportionalzählrohr registriert, das mit der Probe und den gekrümmten Analysatorkristall auf dem so genannten Rowland-Kreis liegt.

Die Nachweisempfindlichkeit liegt im Optimalfall bei ca. 0,01 Gewichts-%. Die Energieauflösung bei ca. 10 eV. Dadurch können im EDX-Spektrum überlagerte Röntgenlinien getrennt voneinander dargestellt und mit größerer Genauigkeit quantifiziert werden. Da jede Wellenlänge quasi seriell gemessen werden muss, sind die Messzeiten mit WDX wesentlich länger. Auch die benötigten Strahlströme für die Messung sind wesentlich höher (Faktor 100) als bei EDX. Die Proben dürfen daher nicht strahlenempfindlich sein - kein Problem bei Metallen und Keramiken.

Weiterführende Stichworte:
Elektronenmikroskop
Elektronenmikroskopie
Elektronenstrahlmikroanalyse
Energiedispersive Röntgenspektrometrie
Environmental-Rasterelektronemikroskopie
Rasterelektronenmikroskop
Rückstreuelektronen
Sekundärelektronen

Literatur:
Schröttner H. : Die Elektronenmikroskopie in der Materialforschung / Electron Microscopy in Materials Research

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