Zonen-Schmelzverfahren

Verfahren zur Einkristallzüchtung ohne Tiegel und demzufolge auch ohne Verunreinigungen durch Tiegelmaterial.

Dabei wird ein polykristalliner Stab durch eine Hochfrequenzheizung in einer schmalen Zone geschmolzen und rekristallisiert, wobei sich die Schmelzzone langsam mit der Heizung nach oben bewegt. Durch eine wiederholte Anwendung werden die Kristalle von jeglichen Verunreinigungen, auf Grund der im Allgemeinen höheren Löslichkeit von Fremdsubstanzen in der flüssigen Phase, befreit. Die Verunreinigungen werden dabei während des Prozesses mit der Schmelze nach oben transportiert. Diese Verfahren liefert beispielsweise sehr reine Silizium- und Germanium-Kristalle.

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