Sekundärelektronen

Entstehen durch unelastische Streuung der Primärelektronen (PE) und treten im unmittelbaren Oberflächenbereich des auftreffenden Primärelektronenstrahls aus. Sie haben eine Energie <50eV. Mit ihnen kann in einem REM die beste laterale Auflösung (bis 1 nm) erreicht werden. Die Zahl der aus der Probe austretenden Sekundärelektronen hängt stark vom Neigungswinkel der Probenoberfläche zum einfallenden Elektronenstrahl ab. Aus stark geneigten Flächen und Kanten treten mehr Elektronen aus. Diese Bereiche erscheinen deswegen im Bild heller (Kanteneffekt). Die vom Detektor abgewandten Oberflächenbereiche erscheinen dunkler.

Weiterführende Stichworte:

Elektronenmikroskop
Elektronenmikroskopie
Elektronenstrahlmikroanalyse
Energiedispersive Röntgenspektrometrie
Rasterelektronenmikroskop
Rückstreuelektronen
Wellenlängendispersive Röntgenspektrometrie

Literatur:
Schröttner H. : Die Elektronenmikroskopie in der Materialforschung / Electron Microscopy in Materials Research.

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